Л. А. Сейдман Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Л. А. Сейдман Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

скачать

О чем книга Л. А. Сейдман Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.

Related Posts

3 к “Л. А. Сейдман Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением”

  1. Причем застрельщику рекомендовалось не производить выстрела до того момента пока его напарник не успеет вновь зарядить штуцер.

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *